Kính hiển vi điện tử quét FE SEM

Tổng quang

• Kể từ kính hiển vi điện tử SEM đầu tiên của Hàn Quốc vào năm 2000, Seron Technologies Inc. đã cống hiến cho công nghệ R & D tiên tiến và kết quả là SEMIRON5000, FE SEM đầu tiên của Hàn Quốc, được thiết kế bởi công nghệ quang điện tử của Seron.
• SEMIRON5000 là loại kính FE-SEM có độ phân giải cao loại Schottky được trang bị vật kính hình nón 65 °, được tối ưu hóa để kiểm tra mẫu lớn trong khoảng cách làm việc ngắn với việc gắn không giới hạn các đầu dò phân tích như EDS, EBSD và WDS.

Đặc tính cơ bản

• Vật kính hình nón 65 °
• Độ phân giải hình ảnh và độ phân giải pixel cao (8192X6144)
• Nâng cấp trình điều khiển để có tốc độ quét cao
• Cửa sổ đa tác vụ GUI
• Auto Stepping & Tiling cho tệp hình ảnh có kích thước lớn
• Nhiều bộ lọc hình ảnh khác nhau để giảm nhiễu
• Gói SW đo lường mạnh mẽ
• Gói phân tích & xử lý hình ảnh mạnh mẽ

Thông số kỹ thuật

Hệ thống quang điện tử

• Nguồn súng điện tử Schottky FE-Tip
• Độ phân giải 1.0 nm @ 30KeV SE / 2.0nm @BSE
• Độ phóng đại 10X ~ 1.000.000X

Hình ảnh

• Hình ảnh điện tử thứ cấp SEI,
• Hình ảnh điện tử bị tán xạ ngược,
• TSEM (Tùy chọn)
• Chế độ quét chùm tia Tìm kiếm, Kiểm tra, Ảnh (3 bước)
• Tăng tốc điện áp ~ 30kV (Thay đổi điện áp liên tục)
• Hệ thống thiên vị được liên kết với Acc. Điện áp cộng với điện áp liên tục

Điều khiển

• Căn chỉnh súng Tự động căn chỉnh súng (Sử dụng Biểu đồ)
• Hệ thống thấu kính Thấu kính điện từ, Thấu kính tĩnh điện Thấu kính vật thể hình nón 60 °
• Image Shift X / Y (330 / 325um), Xoay hình ảnh (360 °)

Đầu dò (detector)

• ET-Type SE Detector (chế độ hình ảnh SE-BSE không có đầu dò BSE để kiểm tra mẫu không tráng) & CCD

Chức năng tự động hóa

• Tự động lấy nét, Tự động lấy nét tự động, Độ tương phản / Độ sáng tự động, Dòng phát xạ, Tự động bước & Lót, Chụp ảnh tự động bằng cách cài đặt trước, v.v.
• Hệ thống hoạt động GUI cửa sổ đa tác vụ, điều khiển từ xa
• Điều chỉnh. Vân vân.