Kính hiển vi điện tử quét dòng Normal SEM

Đặc tính kỹ thuật

Kính hiển vi điện tử quét SEM dòng Normal có tính cạnh tranh cao của Seron được thiết kế cho ứng dụng KV thấp

1. Sản phẩm được giải thưởng Sáng tạo Nano Hàn Quốc năm 2013
2. Được trang bị "Phân tích S / W" & "Công cụ đo lường" mạnh mẽ
3. Vận hành hệ thống tự động hóa thân thiện với người dùng
4. Được trang bị máy dò ET-BSE để thu nhận hình ảnh SE & BSE
5. Cho phép hình ảnh KV thấp (từ 0,6KV) đối với mẫu không dẫn điện
6. Tốc độ quét và độ phân giải Pixel được nâng cấp
7. Giai đoạn cơ giới 3 trục chính xác được trang bị (Micro Coordnation)
8. Thiết kế nhỏ gọn và mỏng

Tính năng chính

• Tốc độ quét cao
• Độ ổn định và hiệu năng cao
• Độ phóng đại cao, điện áp thấp (Low KV)
• Dễ vận hành và bảo trì
• Phù hợp với TSEM, STEM...
• Độ phân giải kỹ thuật số bổ trợ 2x, 4x, 8x...
• ET-ST detector cho hình ảnh SE/BSE

Thông số kỹ thuật SEM AIS2300C

Hệ thống quang điện tử

Độ phân giải 3.0 nm @ 30KV / 4.0nm @ BSE
Độ phóng đại 10X ~ Tối đa 1.000.000X (Zoom kỹ thuật số bổ trợ 2X, 4X, 8X)
Tăng tốc điện áp 0,6kV ~ 30kV (Tối thiểu 0,2kV)
Nguồn điện tử sợi vonfram
Chùm tia Shift & Xoay 250㎛ (X, Y), Xoay ảnh (360 °)
Detector ET-Type SE Detector (Chế độ chuyển đổi SE-BSE Không có đầu dò BSE để kiểm tra mẫu không phủ)

Hiển thị

Bộ nhớ khung

Chế độ khu vực (640X480), Chế độ kiểm tra (960X640, 1024X768, 2048X1536), Chế độ ảnh (2048X1536 ~ 8192X6144) (Tùy chọn: Tối đa 8192X6144 với Giai đoạn nâng cấp bảng quét)

Hệ thống bàn mẫu

X / Y / Z / T / R: 60/70/65mm, -20 ~ 60 ° / 360 ° Endless
Bàn mẫu cơ giới hóa
Tiêu chuẩn: Giai đoạn thủ công 5 trục
Tùy chọn: Giai đoạn cơ giới hóa 3 trục (X, Y, R) với tính năng Tự động bước và xếp gạch cho độ phân giải FOV rộng & Ultra Pixel / Truy xuất vị trí

Hệ thống chân không (Hệ thống chân không thấp: Tùy chọn)

Bơm chân không

Chế độ chân không cao (~ 10-5 Torr)

Tùy chọn

Các tùy chọn phân tích:

EDS, BSE, TSEM Kit, 3D tái tạo S / W, Peltier Cooling Stage & v.v.

Tham khảo: Ứng dụng của kính hiển vi điện tử quét (SEM applications)