Kính hiển vi điện tử SEM dòng Compact

Đặc tính

1. (Loại Compct Mini SEM); Mini SEM loại nhỏ gọn tốt nhất thế giới - " Là dòng Mini SEM được thiết kế cho môi trường văn phòng"

2. Zoom kỹ thuật số (2X, 4X, 8X) & Độ phân giải điểm ảnh cao

3. Thiết kế nhỏ gọn với khung có bánh xe để di chuyển

4. Không gian lắp đặt được thu nhỏ; 540 (W) x 570 (D) x 1300 (H) mm

5. Được trang bị đầu dò ET-BSE (Thu nhận hình ảnh SE & BSE)

6. Hình ảnh KV cực thấp (từ 1kV) cho các mẫu không dẫn điện

7. Được trang bị phân tích S / W mạnh mẽ với chức năng linh hoạt

8. Góc Take-Off EDS 25 ° (Đối với EDS thông thường)

Thông số kỹ thuật

• KV thấp (từ 0,6kV) - Không có lớp phủ
• Cải thiện độ rung bên trong, nhiệt, Vấn đề EMI
• SEM mini độ phân giải cao tốt nhất thế giới
• Không gian tối thiểu: 540 (W) X 570 (D) X 1300 (H) mm
• Khả năng tương thích EDS cao (TOA 25^o)
• Công nghệ giảm quang sai để có độ phân giải tốt hơn
• Áp dụng cho TSEM, STEM-IN-SEM, v.v.
• Thu phóng kỹ thuật số bổ sung 2X, 4X, 8X

Các thông số chính

Hệ thống Quang điện từ

• Độ phân giải 5.0 nm @ 20kV SE, 4.0nm @ 30kV SE
• Độ phóng đại 10X ~ 200.000X (Tối đa) (Zoom kỹ thuật số 2X, 4X, 8X)
• Tăng tốc điện áp 0,6kV ~ 30kV
• Súng điện tử Loại dây tóc vonfram
• Image Shift 250um (X, Y), Xoay ảnh (360 °)
• Detector ET-Type SE Detector (Chế độ chuyển đổi SE-BSE Không có đầu dò BSE để kiểm tra mẫu không phủ)
• Chức năng tự động Căn chỉnh súng tự động, Tự động lấy nét, Tự động làm mờ, Tương phản tự động /
• Độ sáng, dòng phát xạ & v.v.

Hiển thị

• Chế độ vùng bộ nhớ khung (640 x 480), Chế độ kiểm tra (960 x 640, 1024 x 768, 2048 x 1536)
• Chế độ ảnh (2048 x 1536 ~ 8192 x 6144)

Bộ phân tích hình ảnh

• Phân tích & Đo lường Hình ảnh S / W
• Đa tiêu điểm / Xếp hình ảnh / Chế độ xem 3D / Cải tiến / Chuyển đổi màu sắc /
• Bộ lọc / Biểu đồ, Đo điểm, Bộ lọc Hình ảnh khác nhau, AOI (Khu vực quan tâm) & v.v.

Hệ thống bàn mẫu

• Chuyển động (X / Y / Z) mm 40/40 / 40mm
• Nghiêng / Xoay 0 ° ~ 60 ° / 360 ° Vô tận
• Bàn mẫu được cơ giới hóa
• Tiêu chuẩn: Giai đoạn thủ công 5 trục
• Tùy chọn: Bàn mẫu được cơ giới hóa 3 trục (X, Y, R). Truy xuất vị trí (Chức năng Auto-Stepping & Tiling cho độ phân giải FOV & Ultra Pixel rộng)

Hệ thống chân không (Hệ thống chân không thấp: Tùy chọn)

• Chế độ chân không cao chân không (~ 10-5 Torr)
• Loại điều khiển chân không Tự động hóa hoàn toàn với hệ thống an toàn
• Hệ thống chân không Bơm quay + Bơm Turbo

Các tùy chọn thêm

• Công cụ phân tích EDS, BSE, TSEM, Tái tạo 3D S / W & v.v.